测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法

• 作者: 丁万山 刘艳
• 来源期刊: 南京邮电大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 应用光学 白光干涉测量 表面三维轮廓 透明薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 86-90
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 字数: 3624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5439.2006.05.017

摘要

基于新型的峰值分离算法,提出了白光干涉法(垂直扫描白光测量法)的一种新的应用--测量覆盖透明薄膜的物体表面的三维轮廓,并同时测量出透明薄膜的三维轮廓和厚度信息,克服了传统光学非接触测量的缺点,拓展了白光干涉法的应用领域.这一技术可用于检测光学厚度约为1μm或以上的透明薄膜,可广泛有效的应用于半导体和LCD加工制造等需要精细测量的领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁万山	南京航空航天大学自动化学院	34	244	9.0	13.0
2	刘艳	南京航空航天大学自动化学院	13	53	4.0	7.0