基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量

• 作者: 常素萍 谢铁邦
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 白光干涉技术 衍射光栅 垂直扫描
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.09.003

摘要

利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测件,通过检测被测件表面的干涉条纹变化得到表面形貌.垂直扫描位移工作台利用压电陶瓷驱动柔性铰链结构进行纳米驱动,光栅传感器监控整个垂直扫描过程,对压电陶瓷的非线性误差进行实时补偿.垂直扫描位移工作台的性能分析表明:分辨率达到1 nm,定位精度小于10 nm.同时采用图像分析技术对光学仪器测量台阶出现的噪声进行了消噪处理,试验结果表明垂直扫描白光干涉系统能够实现MEMS三维表面形貌的高精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	常素萍	华中科技大学机械科学与工程学院	20	145	6.0	11.0