基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构

• 作者: 丑修建 刘君 刘毅 李秋柱 牛康康
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微器件 白光干涉 垂直扫描法 包络线 零光程差位置
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 201-204
• 页数: 4页
• 分类号: TM930
• 字数: 2511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2009.03.003

摘要

垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌, 更适合具有台阶结构的微纳结构, 其分辨率高、解算速度快、精度较高. 本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法, 对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析, 并重构台阶结构的表面形貌, 微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求, 即光强峰值附近没有达到饱和, 得出了清晰的三维形貌图, 解算出的台阶高度和实际台阶高度一致, 其横向分辨率为 1.6 μm, 纵向分辨率为 0.05 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丑修建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	49	225	9.0	13.0
2	刘君	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	23	2.0	3.0
3	李秋柱	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	17	1.0	2.0
4	刘毅	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	22	2.0	3.0
5	牛康康	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	21	2.0	2.0