基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证

• 作者: 丑修建 刘君 刘毅 牛康康 薛晨阳
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 扫描白光干涉 GaAs台阶结构 透射反射干涉 三维形貌还原 零光程差
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 463-466
• 分类号: O436.1
• 字数: 1635字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.020

摘要

利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君		1	1	1.0	1.0
2	薛晨阳		3	5	2.0	2.0
3	丑修建		2	9	1.0	2.0
4	刘毅		1	1	1.0	1.0