基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术

• 作者: 刘国栋 刘炳国 卢丙辉 孙和义 陈凤东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 移相衍射干涉测量 靶丸 表面形貌 子孔径拼接
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: ICF 与激光等离子体
• 页码范围: 022006-1-022006-5
• 页数: 1页
• 分类号: TN247
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.022006

摘要

为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测，建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置，给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法，并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢，甚至不收敛的问题，提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径，将点云进行横向压缩的方法，在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后，对直径1 mm 的镀金球靶进行了实际测量，得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1．332λ和0．479λ的检测结果，可以同时获得表面形貌的整体起伏特征，以及局部的形貌细节。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国栋	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	79	1002	15.0	28.0
2	刘炳国	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	23	197	9.0	13.0
3	孙和义	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	29	235	9.0	14.0
4	陈凤东	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	24	423	12.0	20.0
5	卢丙辉	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	5	15	3.0	3.0