点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

• 作者: 刘东 杨甬英 沈亦兵 邵卫红 陈晓钰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 点衍射干涉检测 时域有限差分方法 衍射波前误差 衍射光强 光强均匀度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 10-16
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.051001

摘要

采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈亦兵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	40	431	10.0	19.0
2	刘东	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	45	454	12.0	20.0
3	邵卫红	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	23	224	8.0	14.0
4	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
5	陈晓钰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	36	4.0	5.0