基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件

• 作者: 云宇 周文超 彭勇 田小强
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光学元件 子孔径拼接 最小二乘法 光学检测
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1831-1834
• 分类号: TH741
• 字数: 2515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112307.1831

摘要

为了实现小口径干涉仪对大口径光学元件的低成本、高分辨力检测,可采用子孔径拼接方法.在对拼接算法进行改进的基础上,开发了拼接检测软件；建立了一套拼接检测系统,开展了大口径平面光学元件的子孔径拼接检测实验研究.利用9个60 mm×60 mm子孔径拼接来检测120 mm× 120 mm的光学元件,检测结果表明:峰谷值误差为2.37％,均方根值误差仅为0.27％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭勇	中国工程物理研究院应用电子学研究所	15	127	7.0	11.0
2	周文超	中国工程物理研究院应用电子学研究所	9	32	3.0	5.0
3	云宇	中国工程物理研究院应用电子学研究所	2	14	1.0	2.0
4	田小强	中国工程物理研究院应用电子学研究所	10	71	4.0	8.0