稀疏子孔径采样检测大口径光学器件

• 作者: 伍凡 侯溪 范斌 闫锋涛
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 大口径镜面 稀疏子孔径 采样 抛光
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 2011全国先进光学制造与战略新兴产业发展论坛暨学术会议论文
• 页码范围: 3193-3196
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 1094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112312.3193

摘要

针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测.通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较.结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
2	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
3	范斌	中国科学院光电技术研究所	34	161	7.0	10.0
4	闫锋涛	中国科学院光电技术研究所	3	11	2.0	3.0