子孔径拼接干涉检测中去倾斜处理技术

• 作者: 张蓉竹 杨春林 蔡邦维 许乔
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 子孔径拼接 去倾斜 光学检测 残差
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 879-882
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 1496字
• 语种: 中文

摘要

倾斜放置对大口径光学元件的检测有很大影响,为了防止在子孔径拼接干涉检测中倾斜所导致的数据丢失等严重后果,并且实现不同次检测的结果可以相互比较,提出了一种软件修正倾斜量的方法.通过对读出的图形数据进行反向倾斜来降低检测中的元件倾斜程度,避免了实际检测过程中手工操作无法达到极小角度修正的困难.通过实验,验证了该方法的可行性和有效性,实现了大口径光学元件正确的子孔径拼接检测,完成了多次检测结果之间的相互比较,结果表明,残差平均值仅为0.12λ(λ=633nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	蔡邦维	四川大学电子信息学院光电系	66	756	15.0	24.0
3	张蓉竹	四川大学电子信息学院光电系	107	573	10.0	20.0
4	杨春林		29	204	7.0	13.0