提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用

• 作者: 张敏 杨怀江 隋永新
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 干涉仪 子孔径拼接算法 标记点中心
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 830-836
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|TG84
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140705.0830

摘要

子孔径拼接干涉仪中子孔径定位精度难以在大行程范围内得到保证，为此本文提出了基于提取标记点中心定位子孔径的拼接方法。以标记点的中心坐标为标记点坐标，根据标记点在两子孔径局部坐标系下的坐标计算两子孔径之间的坐标变换，将所有子孔径数据坐标变换到统一坐标系下，利用机械误差补偿算法拼接出全口径面形。在搭建的拼接检测系统上实现了外径468 mm的平面镜抛光过程和最终的全口径面形测量，加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据，保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到35 nm。实验证明，基于提取标记点中心的子孔径拼接检测能放宽对机械定位精度的要求，有效检测大口径光学元件面形。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	184	2770	26.0	48.0
5	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
6	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	62	411	11.0	18.0