基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究

• 作者: 杨永强 王宇华 申路
• 来源期刊: 佛山科学技术学院学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 包络线 三维表面形貌
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 机电与自动化
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 1706字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0171.2012.04.009

摘要

白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成,提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法的实现和数据处理的过程进行了讨论,得到了清晰的三维表面形貌图像。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨永强	华南理工大学机械与汽车工程学院	127	1716	22.0	36.0
2	王宇华	佛山科学技术学院机电工程系	60	187	8.0	12.0