三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究

• 作者: 常素萍 汪洁 谢铁邦
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 表面三维轮廓测量 垂直扫描白光干涉法
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论研究和现代精密测试技术
• 页码范围: 160-163
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 1785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.042

摘要

基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	汪洁	华中科技大学机械科学与工程学院	11	39	4.0	5.0
3	常素萍	华中科技大学机械科学与工程学院	20	145	6.0	11.0