MEMS 器件的白光干涉测量

• 作者: 权成根 王宇华 申路
• 来源期刊: 佛山科学技术学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 白光干涉 三维表面形貌
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 机电与自动化
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2614字
• 语种: 中文

摘要

白光干涉测量法适用于 MEMS 器件的三维表面形貌测量。通过 Matlab 仿真，讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势，从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后，得到器件的三维表面形貌。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇华	佛山科学技术学院机电工程系	60	187	8.0	12.0
2	申路	佛山科学技术学院机电工程系	2	2	1.0	1.0