利用白光干涉原理测量MEMS深槽结构

• 作者: 孔繁华 张文栋 张斌珍 熊继军 薛晨阳 郑丽娜
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 MEMS 三维形貌测试
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1516-1518,1522
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 1879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.054

摘要

利用白光干涉仪测量形貌,实现对MEMS深槽结构的几何尺寸和三维形貌的分析.实验采用样品为硅栅,测得沟槽的深度为89.78μm,沟槽宽度22.6 μm,深宽比为4∶1,得到清晰的三维形貌图.经过对不同沟槽的测量发现,当槽结构的宽大于5μm时,经倾斜一定角度后,可以测得槽的三维形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
4	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	郑丽娜	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	32	2.0	4.0
6	孔繁华	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	20	2.0	2.0