飞秒激光烧蚀玻璃基质金属薄膜直写衍射光栅

• 作者: 姜雄伟 朱从善 胡晓 赵全忠 邱建荣
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 光栅 衍射效率 烧蚀
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TH744
• 字数: 2106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.01.005

摘要

提出了一种新的制备光栅的方法,利用800 nm的飞秒激光扫描蒸镀在石英玻璃衬底表面的金薄膜,通过烧蚀金薄膜在衬底表面形成衍射光栅.用波长为532 nm的激光照射光栅,测量其一级衍射效率,测得的衍射效率最高为6.98%.通过改变激光扫描速度、激光功率、光栅周期等实验参数研究其对制备的光栅的一级衍射效率的影响,结果表明,降低激光扫描速度,减小光栅周期,或增加激光功率都能提高制备光栅的一级衍射效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵全忠	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	170	6.0	12.0
2	胡晓	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	42	3.0	6.0
3	姜雄伟	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	130	8.0	11.0
4	朱从善	中国科学院上海光学精密机械研究所	30	249	11.0	14.0
5	邱建荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	22	311	9.0	17.0