3纳米半导体技术

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 生物学
• 关键词: 半导体技术 纳米 半导体电路 科学技术 三维结构
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 12
• 页数: 1页
• 分类号: Q71

摘要

韩国科学技术院教授崔养圭等人开发出的硅半导体电路线宽仅3纳米，相当于成人头发丝直径的4万分之一。这种半导体采用新型三维结构，可在常温下保持良好的半导体功能。