钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护

• 作者: 吕宪义 姜志刚 白亦真 金曾孙
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钽 热阴极 辉光放电
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 工程物理、工程力学
• 页码范围: 157-159
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8608.2006.02.001

摘要

为快速沉积高品质金刚石膜,建立了热阴极等离子体化学气相沉积方法.相对于常规冷阴极辉光放电而言,热阴极辉光放电是一种新型放电形式,具有许多新的特性,其中重要一方面是阴极工作在较高的温度(700～1 200℃).研究了钽阴极在此温度条件下,在PCVD气氛中的反应情况.结果表明,钽与气氛中的碳反应形成了有益于放电和阴极防护的碳化钽表面,而气氛中氧的存在会影响阴极的正常工作,甚至造成阴极损坏.为有效保护阴极,需严格控制真空系统的本底真空度和漏气率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
3	白亦真	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	18	3.0	3.0
7	吕宪义	大连理工大学物理系	1	3	1.0	1.0