影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素

• 作者: 吕宪义 姜志刚 白亦真 金曾孙
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 热阴极 辉光放电 稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: O461
• 字数: 2877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2006.01.016

摘要

大电流热阴极辉光放电用于等离子体化学气相沉积金刚石膜,有效地提高了沉积速率和膜品质.大电流辉光放电具有较强的向弧光放电转化趋势,本文研究了影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素,结果表明,阴极温度、表面形貌、阴阳极位置和尺寸配置关系等对辉光放电的稳定性均有不同程度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕宪义	吉林大学超硬材料国家重点实验室	27	302	10.0	17.0
2	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
3	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
4	白亦真	大连理工大学物理系	9	18	3.0	3.0