GaAs光电阴极多信息量测试系统设计

• 作者: 冯林 常本康 林刚勇 邹继军 钱芸生
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs光电阴极 多信息量 现场总线 真空度 光谱响应
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 582-585
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 1241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.05.020

摘要

为了优化GaAs光电阴极制备工艺,设计了一个用于GaAs光电阴极制备过程监控的多信息量测试系统.系统采用了先进的现场总线技术,可在线测试阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,阴极激活过程中光电流、真空度、Cs源和O源电流的变化曲线,以及阴极激活后的光谱响应曲线.光电流测试精度可达1 nA,光谱响应曲线测量范围在400～1 000 nm.利用该系统对阴极制备过程进行了监测,并给出了测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱芸生	南京理工大学电光学院	86	807	13.0	24.0
2	常本康	南京理工大学电光学院	234	2020	19.0	30.0
3	邹继军	南京理工大学电光学院	47	244	10.0	14.0
7	林刚勇	东华理工学院电子工程系	20	184	8.0	13.0
8	冯林	东华理工学院电子工程系	17	54	3.0	7.0