一种基于衍射光栅光束质量M2因子的实时检测技术

• 作者: 叶訢 徐剑秋 房滔 王志敏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光光束质量 实时测量 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光束传输
• 页码范围: 650-654
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3061字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.05.016

摘要

提出了一种新的光束质量M2因子实时检测技术,利用一个普通正交衍射光栅组将一束待测激光束分成3×3共9路光,并利用光路调整器使9路光束通过不同的光程后有序地排列在CCD相机的探测面上,并使得各路光的光程差分布在束腰附近两倍瑞利距离内,从而可利用单一CCD探测面来同时获取待测光束多个位置上的光斑图样,再利用二阶矩理论求出各个位置上的光束束宽,通过曲线拟合进而实现光束质量的实时检测.结果表明,对于连续He-Ne激光器的输出光束,采用实时检测技术得到的测量结果与用传统方法得到的结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房滔	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	26	2.0	2.0
2	叶訢	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	26	2.0	2.0
3	王志敏	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	52	3.0	6.0
4	徐剑秋	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	162	7.0	12.0