Sb2O3掺杂对ZnO薄膜光吸收性能的影响

• 作者: 常春荣 徐芸芸 李子全
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂ZnO薄膜 Sb2O3 光吸收
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 2185字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.01.011

摘要

采用RF磁控溅射技术制备了Sb2O3掺杂ZnO薄膜,通过X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见光(UV-Vis)分光光度计研究了Sb2O3对ZnO薄膜结构和光吸收性能的影响.结果表明:Sb2O3的掺杂影响了ZnO的原子和电子状态、晶粒的生长方式和光吸收性能.薄膜中Sb以多种形态存在:替位原子和化合物(Sb2O3、Zn7Sb2O14)等,ZnO呈混晶方式生长;随着Sb含量的增加,其引起的晶格畸变和次晶相的含量逐渐增加;掺杂薄膜在远紫外(UVA)波段的吸收显著增强,UV吸收峰变窄,强度增大,吸收边变得陡峭且向短波方向移动达5 nm,在Vis波段的吸收有所增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李子全	南京航空航天大学材料科学与技术学院	72	607	13.0	22.0
2	常春荣	南京航空航天大学材料科学与技术学院	4	26	2.0	4.0
3	徐芸芸	南京航空航天大学材料科学与技术学院	4	26	2.0	4.0