CVD法制备纳米材料用高温真空电阻炉的研制

• 作者: 尹中荣 李全旺 李学章
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: CVD法 真空 高温电阻炉
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 加热设备
• 页码范围: 53-54
• 页数: 2页
• 分类号: TM924.61
• 字数: 1765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2006.05.017

摘要

根据纳米材料CVD法制备工艺的特殊性对设备的苛刻要求,自主设计开发了一台用于纳米粉体制备用的高温真空电阻炉,介绍了该设备的组成结构及其性能特点,论证了该种电阻炉在相关领域内的应用前景.