原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量

• 作者: 肖诗洲 苏亚辉 董磊 郑志军 郭锐 陈宇航 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 成型点 弹性模量 无针尖探针 力学模型
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 667-672
• 页数: 6页
• 分类号: O343|TH742.9
• 字数: 3846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.026

摘要

提出了一种飞秒激光双光子成型点弹性模量的测量及结果分析方法.借助于原子力显微镜,选用无针尖探针对成型点的力学性能进行了测试,建立了椭球-平面接触的弹性力学模型.考虑了成型点剩余部分形变对结果分析的影响,在标定微探针弹性系数和对粘附力进行分析的基础上,提取了力曲线中所包含的力学信息,推算出了成型点的弹性模量,得到了成型点的弹性模量低于宏观材料弹性模量的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
2	董磊	中国科学技术大学纳米结构与物理研究室	48	339	11.0	16.0
3	郭锐	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	33	200	9.0	13.0
4	郑志军	中国科学技术大学材料力学行为和材料设计研究实验室	21	145	6.0	11.0
5	肖诗洲	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	7	25	2.0	4.0
6	苏亚辉	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	4	26	2.0	4.0
7	黄文浩		1	2	1.0	1.0