范德华力作用下粗糙表面静态粘附的研究

• 作者: 丁建宁 凌智勇 张建 杨平 范真
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: OTS膜 范德华力 粘附 稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1663-1666
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 字数: 3009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.093

摘要

通过在硅微接触表面上涂覆低表面能的憎水性OTS膜以除去接触面间的表面张力,把两表面均接地以除去接触面间的静电力,研究了仅有范德华力作用时硅微结构接触表面的粘附.根据实际粗糙表面凸峰自相似的高度分布,计算了发生粘附后,微观接触表面产生弹性和塑性变形的两种情况下的范德华粘附能,分析了表面形貌对其影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建	江苏大学微纳米科学技术中心	64	440	13.0	18.0
2	杨平	江苏大学微纳米科学技术中心	39	198	8.0	11.0
3	凌智勇	江苏大学微纳米科学技术中心	54	400	12.0	17.0
4	丁建宁	江苏大学微纳米科学技术中心	146	769	14.0	19.0
5	范真	江苏大学微纳米科学技术中心	61	532	11.0	20.0