提高线阵CCD测量光束中心位置精密度的方法

• 作者: 常缨 张子良 房元峰 朱鹤年 王长江
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光束宽度 高斯分布 截尾分布 加权回归
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 216-220
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 4540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.03.004

摘要

用线阵CCD测量类钟形分布的光束中心位置时,常用高斯分布模型和最小二乘(LSM)回归计算.提出一种用准高斯分布以提高测量灵敏度、用截取阈值较高的方式以减少噪声影响、用加权LSM回归以提高精密度的方法.由于高斯曲线拟合时的因变量不等权,选用加权回归和等权回归相比,ADC化整误差和光电测量误差的影响将减小一个数量级.根据CCD器件的参数,能够确定像元数据的误差限值.再用蒙特卡罗法模拟误差分布规律,通过截尾分布数值的加权回归,求出使测量精密度提高的合理光束宽度范围.已将此方法用于冲击电流计的改进设计和位移测量,使微电流测量的精密度提高达两个数量级,并使30 mm内的微位移测量的非线性标准差不大于0.0025%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱鹤年	清华大学物理系	28	131	7.0	9.0
2	常缨	清华大学物理系	12	53	4.0	6.0
3	王长江	清华大学物理系	8	27	3.0	4.0
4	张子良	清华大学物理系	1	9	1.0	1.0
5	房元峰	清华大学物理系	1	9	1.0	1.0