MEMS版图自动生成与工艺匹配系统研究

• 作者: 任亮 卢桂章 孙广毅 赵新
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 专家系统 版图自动生成 工艺匹配
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 479-484
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 5849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2006.05.008

摘要

根据MEMS工艺设计的特点提出了反馈式专家系统运作方式,并据此给出了MEMS版图自动生成与工艺匹配系统的体系结构.同虚拟MEMS加工工艺相比,该系统可实现工艺流水的逆向推理流程,由此,进一步给出了系统逆向推理所需的专家规则描述方式和推理机实现方法,并实现了一个原型系统,该系统可实现由两种标准MEMS工艺制作器件的版图自动生成与工艺匹配工作,初步验证了系统的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与信息自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与信息自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	任亮	南开大学机器人与信息自动化研究所	4	19	3.0	4.0
4	孙广毅	南开大学机器人与信息自动化研究所	8	47	3.0	6.0