同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析

• 作者: 冯晓国 卢俊 孙连春 徐峰林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 滤波器 电磁屏蔽 光刻 金属网栅 球面
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 251-255
• 页数: 5页
• 分类号: TN761
• 字数: 2055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.02.020

摘要

纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用"同心扫描"的运动方式可在凹球面上生成纬线."同心扫描"要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心.采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致.因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑.采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢俊	长春理工大学理学院	38	238	8.0	14.0
2	孙连春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	380	10.0	19.0
3	徐峰林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	10	2.0	2.0