凹球面激光直写系统电控误差分析

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 步进电机 凹球面 激光直写 误差分析
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 先进加工制造技术
• 页码范围: 223-227
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.052

摘要

高精度激光直写技术是光、机、电综合运用的前沿技术,广泛应用于精密仪器、设备等高新技术领域.而减小电控误差是凹球面激光直写技术的难点.介绍了凹球面自动调焦激光直写系统原理,分析了步进电机驱动的凹球面激光直写系统的电控误差,步进电机的步距误差,动态误差以及传动间隙空走误差等.同时给出了理论公式,并结合实例进行了精度对比分析;针对各个误差源,提出了提高步距角精度、避开共振频率、补偿空走误差等减小误差的方法.最后给出了激光直写纬线程序流程图.