大尺寸轻型碳化硅质镜体的制造与材料性能测试

• 作者: 张舸 赵文兴 赵汝成
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 凝浇注模 轻型反射镜 反应烧结碳化硅
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 759-763
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 2605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.05.007

摘要

利用凝胶注模(gel-casting)成型工艺制备了φ620 mm和700 mm×300 mm的碳化硅(SiC)轻型反射镜素坯,经过脱模、干燥、脱脂和反应烧结等工艺,制备了反应烧结SiC(RB-SiC)镜体.镜体经过加工和测试,结果表明:制备的RB-SiC内部结构均匀致密;力学性能和热学性能优异,抗弯强度、断裂韧性和热膨胀系数分别达到了350 Mpa、4.1 Mpa·m1/2和2.67×10-6/K;镜体经抛光后的表面粗糙度RMS值可优于3 nm,适合用于制备空间用大尺寸轻型反射镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵文兴	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	333	9.0	15.0
2	张舸	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	199	8.0	14.0
3	赵汝成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	120	6.0	10.0