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复合量程微加速度计的研究
复合量程微加速度计的研究
作者:
张文栋
徐栋
毛海央
熊继军
郭涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
复合量程微加速度计
压阻式
抗过载
体硅工艺
线性度
摘要:
在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100 g、500g、1000 g和2000 g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
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抗高过载
复合量程加速度计
ANSYS
高量程微加速度计的可靠性强化实验及分析
高量程微加速度计
失效分析
可靠性强化实验
ANSYS仿真
可靠性评估
冲击环境
内容分析
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文献信息
篇名
复合量程微加速度计的研究
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
复合量程微加速度计
压阻式
抗过载
体硅工艺
线性度
年,卷(期)
2006,(5)
所属期刊栏目
惯性微纳器件与技术
研究方向
页码范围
2200-2203
页数
4页
分类号
TH82
字数
1735字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.235
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张文栋
中北大学电子测试技术国家重点实验室
167
1172
16.0
26.0
2
熊继军
中北大学电子测试技术国家重点实验室
111
702
13.0
19.0
3
郭涛
中北大学电子测试技术国家重点实验室
86
454
11.0
15.0
4
毛海央
中北大学电子测试技术国家重点实验室
6
78
4.0
6.0
5
徐栋
中北大学电子测试技术国家重点实验室
3
33
3.0
3.0
传播情况
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引文网络
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节点文献
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二级引证文献(1)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
复合量程微加速度计
压阻式
抗过载
体硅工艺
线性度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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