一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造

• 作者: 夏善红 彭春荣 白强 陈绍凤 陈贤祥 陶虎
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 微加工技术 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 639-642
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.03.008

摘要

一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器.此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低.本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程.实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m.