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具有辐射聚合能力的HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
具有辐射聚合能力的HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
作者:
付绍军
刘刚
许素莲
谢永军
赵福华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
HfO2/SiO2
溶胶-凝胶
辐射聚合
光栅
摘要:
采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的HfO2/SiO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光, 通过FTIR的测试, 分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明, 该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分, 并证实了Hf元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率, 结果证实, 加入HfO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力, 采用X射线通过掩模板进行曝光, 利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差, 在薄膜上制备了高为0.8 μm、周期为1 μm的衍射光栅, 进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.
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期刊文献
内容分析
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文献信息
篇名
具有辐射聚合能力的HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
来源期刊
高等学校化学学报
学科
化学
关键词
HfO2/SiO2
溶胶-凝胶
辐射聚合
光栅
年,卷(期)
2006,(7)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1376-1379
页数
4页
分类号
O631
字数
2574字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0251-0790.2006.07.032
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
付绍军
中国科技大学国家同步辐射实验室
10
74
4.0
8.0
2
许素莲
长春理工大学材料与化工学院
17
69
4.0
7.0
3
刘刚
中国科技大学国家同步辐射实验室
4
25
3.0
4.0
4
赵福华
中国科技大学国家同步辐射实验室
1
4
1.0
1.0
8
谢永军
中国科技大学国家同步辐射实验室
1
4
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(0)
节点文献
引证文献
(4)
同被引文献
(7)
二级引证文献
(10)
2006(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
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2019(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
HfO2/SiO2
溶胶-凝胶
辐射聚合
光栅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
高等学校化学学报
主办单位:
中华人民共和国教育部委托
吉林大学和南开大学
出版周期:
月刊
ISSN:
0251-0790
CN:
22-1131/O6
开本:
大16开
出版地:
长春市吉林大学南湖校区
邮发代号:
12-40
创刊时间:
1980
语种:
chi
出版文献量(篇)
11695
总下载数(次)
9
总被引数(次)
133912
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
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