纳米测量中的光栅信号细分技术

• 作者: 刘玉圣 程方 范光照
• 来源期刊: 工业计量
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 LDGI 信号处理
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 计量测试与检定
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TP21
• 字数: 1458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1183.2006.03.012

摘要

文章介绍了一种高精度位移测量方法,以LabVIEW作为工具,对高精度线性衍射光栅干涉仪(LDGI)的正交弦波信号进行采集、处理和分析,进行准确、快速的计数和细分,计算出精确的位移,并进行方向判断.以软件进行信号处理、位移计算,并对可能存在的信号异常进行纠错,简化了硬件,减少了电气环节引入的干扰.实验数据表明:该方法有效地进行高精度位移测量,标准差在20nm以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范光照	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	10	142	6.0	10.0
3	刘玉圣	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	84	5.0	5.0
6	程方	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	63	4.0	4.0