AFM氮化硅纳米探针研制

• 作者: 吴宪平 吴辰凯 张波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 纳米探针 AFM
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.01.010

摘要

在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑, 用LPCVD和PECVD法淀积一层约 1 μm厚的氮化硅膜, 通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上, 最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁就暴露出来,从而构成可用于原子力显微镜(AFM)描绘纳米图像的氮化硅纳米探针.对针尖的尖度和氮化硅膜悬臂梁的热应力补偿进行了深入研讨, 并报道一种特殊而有效的悬臂梁掩模板图形的新设计.制成的氮化硅纳米探针在原子力显微镜上成功地描绘出了纳米图像, 经检测, 其 Z向偏转检测精度优于10-9量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波		3	14	2.0	3.0
2	吴辰凯		1	2	1.0	1.0
3	吴宪平	复旦大学信息科学与工程学院微电子学系	1	2	1.0	1.0