ZnSnO3气敏薄膜的制备和性能

• 作者: 曾宇平 沈荷生 高兆芬
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 直流溅射 电导 气敏特性
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.07.023

摘要

利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体,通过直流溅射制备了气敏薄膜.研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响.实验结果表明:600℃老化后,气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450℃时,该薄膜对乙醇灵敏度约为650,有望开发成酒敏元件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈荷生	上海交通大学微纳米科学技术研究院	45	494	12.0	20.0
2	曾宇平	中国科学院上海硅酸盐研究所	19	176	8.0	13.0
3	高兆芬	上饶师范学院化学系	25	109	6.0	9.0