微表面形貌大视场检测相移显微干涉仪研制

• 作者: 井文才 周革 张以谟 张红霞 朱蔚 李朝辉
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉术 显微干涉术 压电陶瓷传感器(PZT) 多孔径拼接 表面形貌
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 934-936
• 页数: 3页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.08.008

摘要

基于相移干涉术,研制了立式大视场Mirau相移显微干涉仪,它包括干涉成像和照明系统、竖直方向上的压电陶瓷传感器(PZT)微位移系统、被测面的两维扫描系统、图像采集和处理系统,是无限筒长显微镜结构和Mirau干涉结构的叠加.大视场表面形貌通过多孔径扫描拼接实现.单片机串口控制电路控制电控平移台的精确位移,实现了被测面的两维扫描,最小的横向位移为0.039μm,扩展后的视场达到12.5 mm×12.5 mm.测量了光纤连接器端面的表面形貌,重复测量精度小于2 nm.