基于两步相移干涉的微表面形貌检测系统

• 作者: 李光耀 蔡怀宇 黄战华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 空间相移干涉 迈克尔逊结构 希尔伯特变换 测量重复性
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.005

摘要

为了精确稳定地测量物体微表面形貌,设计了一种基于改进迈克尔逊结构的空间两步相移干涉系统. 该系统在泰曼-格林偏振干涉仪的基础之上,使用改进的迈克尔逊结构实现分光,采用偏振方向分别为0 °和45 °的两偏振片作为相移器件,在单个CCD相机中同时记录两幅具有90°相移的干涉图像,然后由离散希尔伯特变换法提取相位,获取物体表面形貌信息. 搭建了两步相移干涉光路,并通过对玻璃平板表面的检测,验证了该系统的可行性. 结果表明,在实验室环境下系统重复测量结果的均方根误差小于0 .02λ,在实际微表面测量中具有良好的稳定性.