飞秒激光加工微光学元件的研究

• 作者: 周常河 孙晓慧
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 表面加工 烧蚀 微光学
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 133-137
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TN405
• 字数: 3169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.01.029

摘要

利用低功率飞秒激光振荡器进行材料表面加工的研究并将其应用于微光学元件的加工制作领域;对飞秒激光倍频光以及飞秒激光与光刻胶材料相互作用进行了实验;以光刻胶作为牺牲层进行表面加工获得了各种玻璃光栅及光掩模板;利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对实验结果进行检测,得到微米量级的特征线宽;所得光栅的光学性能通过He-Ne激光器进行检测,实验结果与理论值一致.该研究为微光学元件的加工制作提供了新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周常河	中国科学院上海光学精密机械研究所	60	460	13.0	17.0
2	孙晓慧	上海工程技术大学基础教学学院	14	49	4.0	7.0