激光化学液相次序选择腐蚀新方法

• 作者: 刘娟秀 刘霖 叶玉堂 吴云峰 王昱琳 范超 赵素英
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 化学
• 关键词: 激光技术 激光辅助腐蚀 次序选择腐蚀法 光电子 半导体化合物
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光化学
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: O644.18
• 字数: 1674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.01.012

摘要

提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法--次序选择腐蚀法.次序选择腐蚀是指在激光化学液相腐蚀中,腐蚀溶剂不是混合后同时作用于基片,而是按照溶剂的性能,分先后对基片进行腐蚀.实质上是采用微处理(表面处理)再进行混合液相激光辅助下的腐蚀.理论分析和实验结果都表明,与国内外研究普遍采用的混合溶剂腐蚀法相比,次序选择腐蚀可以有效地提高腐蚀表面的均匀性;因先采用H2O2对基片进行化学腐蚀处理,大大缩短了激光化学腐蚀的时间;利用溶剂分开,降低了激光化学腐蚀对混合溶剂精确配比的要求,使激光化学腐蚀控制和分析更加简单.这种方法可以克服常规方法的诸多弊端,提高腐蚀性能,在特殊结构光电器件和光电集成中具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	刘娟秀	电子科技大学电子工程学院	49	264	8.0	13.0
4	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
5	范超	电子科技大学光电信息学院	21	102	7.0	8.0
6	王昱琳	电子科技大学光电信息学院	25	115	6.0	9.0
7	赵素英	电子科技大学光电信息学院	4	51	4.0	4.0