次镜高精度位移的控制系统

• 作者: 万敏 何忠武 廖原 胡晓阳 葛成良 雒仲祥 黄志伟
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 位置控制系统 高精度 位置反馈系统 位移 直流伺服电机 光学系统 控制算法 控制精度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 239
• 页数: 1页
• 分类号: TP273

摘要

通过直流伺服电机、精密导轨、光栅尺位置反馈系统，建立了高精度次镜位置控制系统，并在光学系统上得到了应用。采用传统的PID位置控制算法，对次镜的位置控制精度达到了0．1μm。