用于可见光波段的二元光学混合光学系统的设计与应用

• 作者: 侯西云 娄迪 杨国光 白剑
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 二元光学 谐衍射透镜 混合光学系统 波像差
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 3128字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.01.012

摘要

研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统.设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下.因为加工误差等因素,其P-V测得约λ/5,但已满足Strehl判据(＜λ/4),结果验证了二元光学元件(BOEs)在可见光波段应用的可行性.系统中,二元面采用8台阶3次套刻,掩模最小线宽为102 μm.根据测试结果,提出了改进现有系统缺陷的方向和措施.