石英玻璃薄板的激光精密切割技术

• 作者: 袁明权
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 切割技术 激光 薄板 加工要求 加工方法 玻璃加工 生产效率
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 247-248
• 页数: 2页
• 分类号: TQ171.731

摘要

石英玻璃属于高硬度、高熔点的脆性透明材料，一般加工方法很难满足加工要求。现有的石英玻璃加工方法（如机械研磨、磨料喷射加工、超声落料、化学腐蚀等）均存在各种缺陷，在实际生产中，改进现有石英玻璃加工技术十分重要。将激光精密切割技术应用于石英玻璃加工中，可以大大地改善石英玻璃加工的表面质量并提高加工生产效率。