石英玻璃高效精密专用磨削液试制

• 作者: 仇中军 伊萍 卢翠 杨雪
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 磨削 磨削液 表面改性
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 794-798
• 分类号: TH145.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2013.06.005

摘要

为了提高石英玻璃的磨削去除效率与加工质量,本文基于石英玻璃化学机械磨削原理,开发了石英玻璃高效精密专用水基磨削液.此专用磨削液在水基冷却液基础上分别添加了具有化学改性、冷却、润滑和防锈性能的添加剂,通过正交实验法分析了不同添加剂对石英玻璃表面粗糙度的影响,在此基础上确定了各添加剂的最优成分配比组合.利用开发的专用磨削液与市售磨削液分别对石英玻璃进行磨削实验,实验结果表明,开发的专用磨削液可提高石英玻璃材料的表面加工质量,其磨削性能要优于市售磨削液,能实现石英玻璃高效精密化学磨削.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨雪	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	70	5.0	8.0
2	仇中军	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	14	124	6.0	11.0
3	伊萍	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	30	2.0	2.0
4	卢翠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	30	2.0	2.0