掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究

• 作者: 唐永兴 李海元
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 溶胶-凝胶 二氧化硅 减反膜 稳定性 有机硅
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 116-119
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.01.025

摘要

膜层稳定性对于激光器能否长期稳定使用极为重要.多孔SiO2减反膜经热处理后,结构中还存在许多Si-OH亲水基团,透过率稳定性受环境相对湿度的影响较大.向膜层中掺入有机硅,添加疏水基团,提高了膜层的疏水性,增强了膜层的透过率稳定性.膜层中加了Si-CH3疏水基团,膜层的疏水性大大提高;当Si-CH3与二氧化硅悬胶体中的Si的摩尔比为1/5.7时,即Si-CH3质量分数为0.35%时的二氧化硅膜层,其减反效果好,疏水性也高,从而大幅度提高了膜层的透过率稳定性,延长了膜层的寿命,对二氧化硅膜层具有高激光损伤阈值的性能没有影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海元	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室	9	56	4.0	7.0
2	唐永兴	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室	9	63	5.0	7.0