RF MEMS引线键合的射频性能和等效电路研究

• 作者: 吴含琴 廖小平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 键合线 射频性能 电路模型
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1951-1954
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 1279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.169

摘要

针对一种用键合线连接的简单封装模型进行射频性能的模拟.用HFSS软件对不同长度、不同高度、不同直径以及不同间距的键合线进行模拟,总结出这些参数对键合线射频性能的影响.提出了由顶盖、CPW和键合线组成的简单封装结构的等效电路,并提取参数值.用Mcrowave Office软件对等效电路进行模拟,其S11在6～8 GHz内与HFSS模拟的模型的S11相差2 dB以内,其S21在1～10 GHz内与模型的S21相差0.1 dB以内.