镀膜玻璃衬底表面结构的分子动力学模拟

• 作者: 刘涌 宋晨路 韩高荣
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学 玻璃 表面结构 薄膜生长
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与化学工程
• 页码范围: 1591-1594,1642
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2006.09.026

摘要

为考察硅酸盐玻璃衬底的表面结构以及温度对玻璃衬底表面结构的影响,模拟研究了500～1 000 K温度范围内及Al质量分数为0.5%～1.5%的玻璃衬底结构.采用Born-Mayer势函数,使用分子动力学方法,模拟了玻璃体相结构向表面结构转化的结构驰豫过程.结果表明,结构驰豫使系统能量下降,原子向表面一侧扩散.在500～1 000 K温度范围内,玻璃成份中Na原子的驰豫最为明显,Ca原子次之,Si、O原子最小,玻璃衬底表面的Na原子的质量分数高于体相.随着玻璃成分中Al质量分数的减小,玻璃衬底表面层的能量增加,活性增强,有利于沉积原子的吸附.