晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析

• 作者: 周炳海 潘青枝 王世进
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 赋时Petri网 建模 性能分析
• 年，卷（期）: 2006,（35）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 222-225
• 页数: 4页
• 分类号: TP391|TP278
• 字数: 4197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-8331.2006.35.066

摘要

晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节,晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本.为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能,分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况,进行了赋时Petri网建模研究,建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型.在此基础上,进行了稳态生产率分析,同时用实例验证了模型的有效性和实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	上海交通大学机械与动力工程学院	79	803	17.0	25.0
2	王世进	上海交通大学机械与动力工程学院	14	215	8.0	14.0
3	潘青枝	上海交通大学机械与动力工程学院	4	17	2.0	4.0