基于套刻误差测试标记的彗差检测技术

• 作者: 张冬青 施伟杰 王向朝 王帆 马明英
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 光刻机 彗差 套刻误差 投影物镜
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1037-1042
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.016

摘要

为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验.结果表明,与目前国际上通常使用的投影物镜彗差检测技术相比,该技术在传统照明条件下灵敏度系数Kz7与Kz14的变化范围分别增加了27.5%和34.3%,而在环形照明条件下则分别增加了20.4%和22.1%,因此彗差的测量精度可提高20%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	马明英	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	11	60	4.0	7.0
6	王帆	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	20	71	5.0	7.0
7	施伟杰	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	13	70	4.0	7.0
8	张冬青	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	13	71	4.0	7.0