三氧化钨薄膜的光学特性和结构研究

• 作者: 唐一科 徐艳 范瑛 许静
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 直流磁控溅射法 透光性 结构形态
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 光、电、磁功能材料
• 页码范围: 336-338
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 2026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.z2.098

摘要

用溶胶-凝胶法和直流反应磁控溅射法制备了表面均匀致密的三氧化钨薄膜,并用双光束紫外可见分光光度计和X衍射分别对薄膜的透光性、结构形态进行了测定;描述了退火温度对薄膜透光性和结构形态的影响,结果表明在高温(＞300℃)退火处理后薄膜的透光率下降,且退火温度越高透光率越低;在350℃以下退火处理后得到薄膜样品为非晶态,在350～400℃范围内退火处理,样品由非晶态向晶态转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐一科	重庆大学机械工程学院	74	745	14.0	23.0
2	范瑛	中国工程物理研究院结构力学研究所	20	104	6.0	10.0
3	许静	重庆科技学院化学与生物工程学院	12	27	3.0	4.0
4	徐艳	重庆大学机械工程学院	10	144	8.0	10.0