浅沟槽双光电探测器

• 作者: 宋瑞良 毛陆虹 陈瑞鹏
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双光电探测器 浅沟槽隔离 器件模拟 响应度
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究设计
• 页码范围: 24-25,39
• 页数: 3页
• 分类号: TL81
• 字数: 1565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2006.04.011

摘要

提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成.通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度.结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好的特性,响应度和响应速度都优于双光电探测器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛陆虹		165	736	12.0	20.0
2	宋瑞良		15	43	4.0	5.0
3	陈瑞鹏		1	1	1.0	1.0